漲知識了！MEMS也可以用來監(jiān)測地震

作者：Coventor（泛林集團旗下公司）資深應用工程師 Hideyuki Maekoba

(資料圖片僅供參考)

原文鏈接：

https://www.coventor.com/blog/shaking-your-world-using-mems-seismometers...

無論在哪一年，全世界大約都會發(fā)生16次大地震，其中15次是7級，1次是8級或8級以上的地震^[1]。因此，地震早期預警(EEW)系統(tǒng)的需求量很大。由日本氣象廳(JMA)管理的覆蓋全國的EEW系統(tǒng)^[2]從2006年開始運行。地震臺網由1000個間隔20至25公里的地震臺組成。在2011年日本東北9.1級地震之后，日本氣象廳收集了關于EEW系統(tǒng)的反饋：人們對地震預警系統(tǒng)表示熟悉，并發(fā)現它們很有用；參與者對JMA EEW系統(tǒng)的功效普遍給予了正面反饋，即使有假警報，大家的反饋也令人驚訝地積極。調查對象們都很熟悉早期預警系統(tǒng)的技術局限性，并認為即便是提供虛假警報的系統(tǒng)，也好過對于一個即將發(fā)生的地震沒有任何預警。

不過由于地震傳感器網絡分布較少（或有限），地震事件的表征和監(jiān)測之間可能會發(fā)生延遲。解決這一問題的其中一種方法是使用基于MEMS的地震傳感器作為傳統(tǒng)傳感網絡的補充。MEMS傳感器體積小，價格實惠，適用于局部監(jiān)測，也可以提高地震監(jiān)測能力。利用MEMS技術和物聯(lián)網 (IoT)，人們已經開發(fā)或部署了一些有趣的地震傳感器技術，作為早期地震預警系統(tǒng)的一部分^[3]。例如，美國加州的MyShake項目使用智能手機提供地震警報；中國臺灣的三個EEW系統(tǒng)之一，即臺灣大學開發(fā)的P-alert系統(tǒng)，通過MEMS傳感器可以更快速地提供現場的地震警告。

我們與日本早稻田大學合作，共同設計了一種sub-1hz共振頻率的MEMS共振器，可用于密集地震儀網絡^[4]。該裝置的低共振頻率是利用具有超小彈簧常數的電調諧彈簧實現的。為了進行微調，我們提出了一種多步驟電調諧方法（如圖1）。我們的地震儀結構如圖2(a)所示，MEMS+^?仿真模型的俯視圖如圖2(b)所示。不過設計中所需的小彈簧常數降低了地震儀的抗沖擊能力和動態(tài)范圍。我們采用一種力平衡方法，將其中的質量位移用反饋力抵消（如圖3）。這種創(chuàng)新設計已經在MEMS+中進行了模擬，該設計通過使用高度緊湊的外形，可以準確地監(jiān)測輸入的加速度（代替地震活動）。

圖1：多步驟電調諧的基本原理

出處：早稻田大學Ikehashi教授實驗室

圖2(a)：地震儀結構示意圖

出處：早稻田大學Ikehashi教授實驗室

圖2(b)：MEMS+地震儀模型中心結構俯視圖

出處：早稻田大學Ikehashi教授實驗室

圖3：多區(qū)模擬框圖

出處：早稻田大學Ikehashi教授實驗室

本研究的目標是開發(fā)一種靈敏、可靠的MEMS地震儀，可廣泛應用于EEW地震預警系統(tǒng)。這種基于MEMS的地震儀可以提供更準確的地震監(jiān)測，更少的錯誤警報，有助于挽救生命。我們期待最終將這種創(chuàng)新的地震儀部署到先進的地震預警系統(tǒng)中。

參考資料：[1] Available online: https://www.usgs.gov/faqs/why-are-we-having-so-many-earthquakes-has-natu... (accessed on 10 November 2021) [2] Velazquez, O., Pescaroli, G., Cremen, G., & Galasso, C. (2020). A review of the technical and socio-organizational components of earthquake early warning systems. Frontiers in Earth Science, 8, 445. [3] Allen, R. M., & Melgar, D. (2019). Earthquake Early Warning: Advances, scientific challenges, and societal needs. Annual Review of Earth and Planetary Sciences, 47, 361-388. [4] Wu, J., Maekoba, H., Parent, A., & Ikehashi, T. (2022). A Sub-1 Hz Resonance Frequency Resonator Enabled by Multi-Step Tuning for Micro-Seismometer.?Micromachines,?13(1), 63.

關鍵詞： 早稻田大學 地震預警 地震監(jiān)測 共振頻率 進行微調